集成电路制造技术 原理与工艺 第3版 介绍硅基芯片制造流程中普遍采用的各单项工艺技术的原理 问题 分析方法等 凤凰新华书店 正版

正版书籍 微电子工艺与装备技术 陈宝钦 夏洋 等著 集成电路制作基本原理与方法的基础 复杂的工艺和流程 半导体集成电路制造技术

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