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官方现货 集成电路与等离子体装备 Integrated Circuit and Plasma Based Apparatus 赵晋荣等 编著 9787030775467科学出版社
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正版书籍 微电子工艺与装备技术 陈宝钦 夏洋 等著 集成电路制作基本原理与方法的基础 复杂的工艺和流程 半导体集成电路制造技术
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